Kòm nou tout konnen, gen yon sèl manifakti nan mond lan ki ka pwodwi litografi EUV, li se laASML Netherlands.
Rezon ki fè gen yon sèl manifakti nan mond lan se ke ASML te mare anpil manifaktirè kle ansanm, tankou Zeiss (Zeiss), yon konpayi optik Alman, Cymer (USA), akTRUMPF (Almay).
ASML te mare manifaktirè sa yo nan cha li yo atravè envestisman, akizisyon, aksyon, etablisman sant rechèch, ak sou sa, ak manifaktirè sa yo, se pwobableman manifaktirè yo sèlman nan mond lan ki ka pwodwi pwodwi sa yo, kidonk finalman sèlman ASML nan mond lan ka. pwodwi litografi EUV.
Sepandan, dènyèman, yon chèn ekipman kle nan ASML, kouri nan Shenzhen, Lachin yo bati yon faktori, oksilyè Shenzhen li yo rete nan Baoan Sino-Alman (Ewòp) Endistriyèl Demonstrasyon Park.
Manifakti sa a se TRUMPF gwoup Almay (TRUMPF), li se lithographie EUV ASML a, sèl founisè sous lazè nan mond lan.
Pwodwi TRUMPF nan litografi EUV, ki jan enpòtan? Premyèman, koute m 'eksplike prensip la nan litografi EUV, ou pral konprann.
Prensip la nan litografi EUV, pou mete li tou senpleman, se santre sou twa gwo sistèm, sistèm sous limyè iltravyolèt EUV, sistèm nan glas objektif, ak sistèm nan tab.
Pwosesis espesifik la se sèvi ak yon lazè pou eksite yon longèdonn 13.5nm nan limyè iltravyolèt ekstrèm, ki Lè sa a, korije yo fòme yon gwo bout bwa kontwole nan limyè, ki se Lè sa a, projetée sou yon tab fotomask anvan yo pwojte nan yon glas objektif sou yon tab ekspoze. epi finalman grave nan yon kous sou yon wafer Silisyòm kouvwi ak photoresist.
Ki jan youn nan sistèm sous limyè UV EUV yo jwenn nan bonbade yon ti gout metal fèblan (Sn) ak yon lazè CO2 30 kW, evapore li nan yon plasma, epi finalman jwenn limyè EUV nan longèdonn 13.5 nm.
Se TRUMPF ki bay lazè CO2 30 kW sa a, se sèl nan mond lan.
Pa souzèstime lazè CO2 sa a, li gen 457,329 pati, longè kab nan sistèm nan jiska 7,322 mèt, ak pwa a se 17,090 kg, ki se youn nan eleman debaz ki pi enpòtan nan litografi EUV.
Koulye a, TRUMPF kouri ale nan Lachin pou konstwi yon faktori, entansyon an klè, se sa ki, optimis sou mache lazè Chinwa a, e menm plis alontèm vi, optimis sou mache litografi Chinwa a, lavni an ka kolabore ak Lachin pou konstwi litografi EUV. .
An reyalite, deja gen plis pase yon chèn ekipman ASML kouri nan Lachin pou konstwi yon faktori, gen KMWE ak lòt manifaktirè yo, tou nan Lachin pou konstwi yon faktori.
Dapre tandans aktyèl la, nou ka optimis espere ke li ka pa lontan anvan teknoloji litografi Lachin nan pral yon gwo etap pi devan, e menm volim nan pwodiksyon EUV litografi, ka gade tou pou pi devan pou, ou panse?
